99अर्धचालक विनिर्माण के लिए उच्च शुद्धता पीएसए ऑक्सीजन जनरेटर

पीएसए ऑक्सीजन जनरेटर(दबाव स्विंग एड्सरबशन ऑक्सीजन जनरेटर) सेमीकंडक्टर विनिर्माण उद्योग में एक प्रमुख स्वच्छ उपकरण है। उच्च परिशुद्धता दबाव स्विंग अनुमोदन (पीएसए) तकनीक पर आधारित है,यह उच्च शुद्धता वाले ऑक्सीजन का उत्पादन करने के लिए डबल-लेयर आणविक सिट (सामान्य आणविक सिट + उच्च शुद्धता वाले आणविक सिट) के माध्यम से गहरी शुद्धता प्राप्त करता है.5%

इसमें स्थिर शुद्धता, उच्च स्वच्छता, विश्वसनीय संचालन और शून्य प्रदूषक उत्सर्जन जैसे मुख्य फायदे हैं।जो अर्धचालक निर्माण के दौरान ऑक्सीकरण और पतली फिल्म जमावट जैसी प्रक्रियाओं में ऑक्सीजन शुद्धता और स्वच्छता के लिए सख्त आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है. के लिए शीर्ष स्तर के विन्यास के रूप मेंपीएसए ऑक्सीजन संयंत्र शुद्धता, इस उपकरण द्वारा उत्पादित ऑक्सीजन में अशुद्धियों (नाइट्रोजन, नमी, कार्बन डाइऑक्साइड, आदि) को सभी पीपीएम स्तर से नीचे नियंत्रित किया जाता है,अपर्याप्त ऑक्सीजन शुद्धता के कारण चिप उपज में कमी से बचने के लिएयह अर्धचालक विनिर्माण के लिए आवश्यक मुख्य ऑक्सीजन आपूर्ति उपकरण है।

अर्धचालक विनिर्माण परिशुद्धता विनिर्माण के शिखर का प्रतिनिधित्व करता है, जिसमें चिप प्रक्रियाएं नैनोमीटर पैमाने (5 एनएम, 3 एनएम) में प्रवेश कर चुकी हैं। कोई भी छोटी अशुद्धियां चिप शॉर्ट सर्किट का कारण बन सकती हैं,प्रदर्शन में गिरावटऑक्सीजन का उपयोग मुख्य रूप से अर्धचालक विनिर्माण में ऑक्सीकरण (SiO2 इन्सुलेशन परतों का गठन) और रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) जैसी मुख्य प्रक्रियाओं में किया जाता है।ऑक्सीजन शुद्धता सीधे इन्सुलेशन परत मोटाई की एकरूपता को प्रभावित करती है, फिल्म आसंजन, और चिप विद्युत प्रदर्शन।

सामान्य औद्योगिक ग्रेड ऑक्सीजन (93% शुद्धता) में नाइट्रोजन और नमी जैसी अशुद्धियां होती हैं जो चिप सतह पर दोष पैदा कर सकती हैं, जिससे उपज में 10-20% की कमी आती है; इसके विपरीत, 99.5% उच्च शुद्धता वाले ऑक्सीजन अशुद्धियों की मात्रा को पीपीएम स्तर से नीचे नियंत्रित कर सकते हैं, प्रभावी रूप से दोष के गठन से बचने और चिप उपज 90% से अधिक स्थिर रहता है सुनिश्चित।पीएसए ऑक्सीजन जनरेटरवायु से नाइट्रोजन, आर्द्रता और कार्बन डाइऑक्साइड जैसी अशुद्धियों को गहराई से हटा सकता है।पीएसए ऑक्सीजन संयंत्र शुद्धतानियंत्रण सटीकता पारंपरिक ऑक्सीजन उत्पादन उपकरण की तुलना में बहुत अधिक है, जो अर्धचालक निर्माण की प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरी तरह से पूरा करती है।

इसके अतिरिक्त अर्धचालक विनिर्माण में ऑक्सीजन की शुद्धता के लिए अत्यंत उच्च आवश्यकताएं हैं। आउटपुट गैस को क्लास 100 क्लीनरूम वर्गीकरण (100 से अधिक कण ≥0.5μm प्रति घन फुट हवा).पीएसए ऑक्सीजन जनरेटरउच्च दक्षता वाली गैस फिल्टरेशन प्रणाली से लैस है जो ऑक्सीजन में छोटे कणों को फिल्टर कर सकती है, जिससे चिप की सतह पर कणों से संदूषण से बचा जा सकता है और चिप की गुणवत्ता सुनिश्चित की जा सकती है।

खरीदते समयपीएसए ऑक्सीजन जनरेटर, अर्धचालक उद्यमों को चार मूल सिद्धांतों का पालन करना चाहिएः "योग्य शुद्धता, स्वच्छ कमरे संगतता, स्थिरता और विश्वसनीयता, और आपूर्तिकर्ता की पूर्ण योग्यता"।

• शुद्धता के संदर्भ में, अर्धचालक प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने वाले ऑक्सीजन शुद्धता ≥ 99.5% और अशुद्धता सामग्री वाले उपकरण का चयन करना अनिवार्य है,और आपूर्तिकर्ताओं को तीसरे पक्ष के परीक्षण रिपोर्ट (जैसे एसजीएस) प्रदान करने की आवश्यकता है, आईटीएस)
• स्वच्छ कक्ष संगतता के संदर्भ में यह पुष्टि करना आवश्यक है कि उपकरण की आउटपुट गैस शुद्धता ≥ वर्ग 100 है और उपकरण के आवरण स्वच्छ कक्ष स्थापना आवश्यकताओं को पूरा करते हैं
• स्थिरता और विश्वसनीयता के संदर्भ में, निरंतर संचालन समय ≥ 8,000 घंटे/वर्ष और मुख्य घटकों के लिए वारंटी ≥ 3 वर्ष वाले उत्पादों को प्राथमिकता दी जानी चाहिए
• आपूर्तिकर्ताओं की योग्यता महत्वपूर्ण है।पीएसए आधारित ऑक्सीजन संयंत्रउत्पादन योग्यता, ISO9001 गुणवत्ता प्रबंधन प्रणाली प्रमाणन और अर्धचालक उद्योग के प्रासंगिक प्रमाणन (जैसे SEMI प्रमाणन),और उन्हें अर्धचालक उद्योग में सफल मामले प्रदान करने की आवश्यकता है

विक्रय के बाद सेवा को अर्धचालक उद्योग की उच्च आवश्यकताओं को पूरा करना चाहिए। आपूर्तिकर्ताओं को 24/7 तकनीकी सहायता प्रदान करने में सक्षम होना चाहिए, नियमित रूप से साइट पर रखरखाव,और उपकरण के दीर्घकालिक स्थिर संचालन को सुनिश्चित करने के लिए तेजी से स्पेयर पार्ट्स की आपूर्ति.

अपने 99.5% उच्च शुद्धता लाभ के साथ,पीएसए ऑक्सीजन जनरेटरअर्धचालक निर्माण में स्वच्छ ऑक्सीजन आपूर्ति के लिए एक बेंचमार्क बन गया है। इसकी सटीक शुद्धता नियंत्रण, स्वच्छ गैस उत्पादन,और स्थिर परिचालन प्रदर्शन अर्धचालक प्रक्रियाओं के लिए विश्वसनीय ऑक्सीजन आपूर्ति समर्थन प्रदान कर सकते हैंयह चिप विनिर्माण उद्यमों के लिए उपज में सुधार और लागत में कमी लाने के लिए एक महत्वपूर्ण उपकरण है।